特丽亮申请聚氨酯抛光垫专利,提高氧化石墨烯在聚氨酯预聚物体系中的分散性
发布时间:2025-07-22
2025年7月19日消息,国家知识产权局信息显示,江苏特丽亮新材料科技有限公司申请一项名为“一种聚氨酯抛光垫及其制备方法”的专利,公开号CN120326519A,申请日期为2025年06月。
专利摘要显示,本发明为半导体的化学机械抛光技术领域,提供一种聚氨酯抛光垫及其制备方法。所述聚氨酯抛光垫至少包括抛光层和缓冲层,所述抛光层包括以下重量份的原料:聚氨酯预聚物60~100份、填料1~10份、固化剂10~30份,其中填料为介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯填料。以介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯为填料,将介孔二氧化硅接枝到氧化石墨烯表面,大大提高了氧化石墨烯在聚氨酯预聚物体系中的分散性,以更好的发挥氧化石墨烯的作用。这种填料不仅可以利用氧化石墨烯的热传导性能,而且加入的介孔二氧化硅具有中空的结构,也有利于提高抛光垫的热传导性能。
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